常州大成工業(yè)氣體有限公司
Changzhou Dacheng Industrial Gas Co., Ltd
PRODUCTcenter
產(chǎn)品中心
分類：三氟化氮
賣家：常州大成工業(yè)氣體有限公司
地址：常州市金壇區(qū)龍湖路33號
咨詢服務(wù)熱線：
15961136667
三氟化氮 （NF3)
項(xiàng)目名稱
純度指標(biāo)（%）
三氟化氮
≥99.99
雜質(zhì)含量（ppm)
氮?dú)猓?/span>N2）
≤5
氧氣+氬氣（O2+Ar）
≤3
二氧化碳（CO2）
一氧化碳（CO)
≤1
四氟化碳（CF4)
≤40
水（H2O）
六氟化硫（SF6）
氟化氫（HF）
氧化亞氮（N2O）
包裝：采用44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要分裝到8L的氣瓶中。
用途：NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染。
理化性質(zhì): 在常溫常壓下 , 三氟化氮為無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的液化氣體，高純?nèi)獛缀鯖]有氣味，它是一種熱力學(xué)穩(wěn)定的氧化劑，大約在 350 ℃左右可離解成為二氟化氮和氟氣，故其反應(yīng)性相似于氟。
注意事項(xiàng)：
1.在70℃以下NF3氣體對普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼在70℃以下均可用作包裝材料。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝，對氣瓶每兩年要檢驗(yàn)一次。按有毒高壓液化氣體規(guī)定運(yùn)輸，國外規(guī)定可以用汽車、火車運(yùn)輸，不能用飛機(jī)運(yùn)輸。氣瓶充裝系數(shù)不大于0.01。
2.儲存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專用庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、還原劑、食用化學(xué)品分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
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