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硅烷混合氣體

0.5-50

Ar、N2、He、H2

5-12

4-47

可根據(jù)用戶要求提供

磷烷混合氣體

5ppm-23

Ar、N2、He、H2

5-12

0.7-17

硼烷混合氣體

5ppm-10

Ar、N2、He、H2

5-10

4-17

砷烷混合氣體

5ppm-5

Ar、N2、He、H2

5-12

0.7-17

硒化氫混合

10ppm-5

Ar、N2、He、H2

5-12

4-17

乙硅烷

5ppm-2

Ar、N2、He、H2

≥5

0.7-17

鍺烷

5ppm-0.5

Ar、N2、He、H2

≥5

0.2-17